
Траншейный МОП-транзистор с экранированным затвором (SGT-MOSFET) представляет собой усовершенствованную инновационную структуру, развивающую традиционный траншейный МОП-транзистор (Trench MOSFET). Благодаря внедрению теории зарядового баланса и дополнительной конструкции экранированного затвора он успешно преодолевает физический предел традиционных кремниевых МОП-транзисторов по соотношению напряжения пробоя и сопротивления в открытом состоянии и является одной из ключевых технологий в области средне- и низковольтной силовой полупроводниковой техники.
Траншейный МОП-транзистор с экранированным затвором (SGT-MOSFET) представляет собой усовершенствованную инновационную структуру, развивающую традиционный траншейный МОП-транзистор (Trench MOSFET). Благодаря внедрению теории зарядового баланса и дополнительной конструкции экранированного затвора он успешно преодолевает физический предел традиционных кремниевых МОП-транзисторов по соотношению напряжения пробоя и сопротивления в открытом состоянии и является одной из ключевых технологий в области средне- и низковольтной силовой полупроводниковой техники.
VSM009N04KH, VSM011N06KH, VSM064N10K, VSM057N10K, VSM028N10KH
PDFN5*6
В структурном отношении траншейный МОП-транзистор с экранированным затвором представляет собой глубоко оптимизированную версию традиционного траншейного МОП-транзистора. Его наиболее характерной особенностью является введение внутри траншеи вертикального поликремниевого экранированного затвора, соединённого с истоком.
1. Модуляция электрического поля и баланс зарядов: этот экранированный затвор выполняет функцию внутренней полевой пластины и способствует обеднению дрейфовой области. Он преобразует распределение электрического поля внутри прибора из традиционной треугольной формы в форму, близкую к прямоугольной, благодаря чему при использовании эпитаксиального материала с той же концентрацией легирования значительно повышается способность прибора выдерживать напряжение.
2. Снижение паразитных ёмкостей: экранирующая структура эффективно уменьшает площадь перекрытия между затвором и стоком, что значительно снижает паразитную ёмкость затвор-сток (Crss) и общий заряд затвора (Qg).
| Траншейный МОП-транзистор с экранированным затвором (SGT-MOSFET) | ||||||||||||||
| Категория | Модель | Тип МОП-транзистора | VDS, В | ID, А | VGS(th) макс., В | RDS(ON) | VGS макс. | Ciss (пФ) |
Coss (пФ) |
Crss (пФ) |
QG | Корпус | Области применения | |
| Vgs=10 В | Vgs=4.5 В | нКл | ||||||||||||
| мОм (тип.) | мОм (тип.) | В | тип. | тип. | тип. | тип. | ||||||||
| 40В | VSM009N04KH | N | 40 | 350 | 4 | 0.6 | / | ±20 | 8350 | 4040 | 228 | / | PDFN5*6 | |
| 60В | VSM011N06KH | N | 60 | 270 | 3.2 | 1.1 | / | ±20 | 6900 | 2600 | 120 | / | PDFN5*6 | |
| 100В | VSM064N10K | N | 100 | 93 | 2.5 | 5.6 | 7.3 | ±20 | 2657 | 823 | 22 | 44 | PDFN5*6 | |
| VSM057N10K | N | 100 | 115 | 2.3 | 4.3 | 5.5 | ±20 | 3378 | 1529 | 23 | 44 | PDFN5*6 | ||
| VSM028N10KH | N | 100 | 200 | 4 | 2.3 | 3.4 | ±20 | 5360 | 1970 | 30 | 72 | PDFN5*6 | ||