
Траншейный МОП-транзистор (траншейного типа) является важной структурной инновацией в области силовой полупроводниковой техники. В отличие от традиционной планарной структуры, его затвор «заглублён» в кремниевую пластину, а трёхмерная конструкция позволяет значительно улучшить характеристики прибора.
Траншейный МОП-транзистор (траншейного типа) является важной структурной инновацией в области силовой полупроводниковой техники. В отличие от традиционной планарной структуры, его затвор «заглублён» в кремниевую пластину, а трёхмерная конструкция позволяет значительно улучшить характеристики прибора.
VTM41N03J, VTM90N03F
PDFN3*3, DFN5*6, серия QFN, TO-252, TO-220AB
У традиционного планарного МОП-транзистора канал является горизонтальным, в то время как в траншейном МОП-транзисторе на поверхности полупроводника вытравливаются вертикальные траншеи, которые заполняются оксидным слоем и поликремнием для формирования затвора13.
1. Вертикальный проводящий канал: такая конструкция изменяет направление протекания тока с горизонтального на вертикальное, при этом канал параллелен направлению тока.
2. Устранение эффекта JFET: траншейная структура проходит через самую нижнюю часть базовой области p-типа, полностью устраняя существующую в традиционных планарных структурах паразитную область JFET и связанное с ней сопротивление JFET, что значительно снижает удельное сопротивление прибора в открытом состоянии.
| Траншейный МОП-транзистор | ||||||||||||||
| Категория | Модель | Тип МОП-транзистора | VDS, В | ID, А | VGS(th) макс., В | RDS(ON) | VGS макс. | Ciss (пФ) |
Coss (пФ) |
Crss (пФ) |
QG | Корпус | Области применения | |
| VGS=10 В | Vgs=4.5В | (нКл) | ||||||||||||
| мОм (тип.) | мОм (тип.) | В | тип. | тип. | тип. | тип. | ||||||||
| 30В | VTM41N03J | N | 30 | 41 | 2.5 | 6.1 | 8.8 | ±20 | 1209 | 170 | 137 | 24 | PDFN3*3 | |
| VTM90N03F | N | 30 | 90 | 2.0 | 3.5 | 5 | ±20 | 2110 | 280 | 220 | 2.4 | TO-220F | ||